真空镀膜机改进后的镀膜结构
　根据现有比较片结构在使用过程中暴露出的问题，对原有通用镀膜机比较片结构进行多次的改进，形成以下的结构，如图2(a)、(b)所示。通过设计可重叠放置比较片存储筒，使比较片机构直径所占面积减小，但放置的比较片数量增加到20 片左右， 整个机构直径缩小为Φ89mm。结果可增加较小工件镀膜盘上装载工件的数量，提高生产效率，还可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动控制。
　具体动作实施，改进后多片比较片机构的转动，通过连接板23 和连接块21 固定在真空室顶板上，比较片机构的旋转运动，由旋转密封轴把运动输入真空室内的大齿轮，带动小齿轮所在传动轴24 的转动，最终实现整个比较片机构的转动。比较片切换比较片时，通过拨盘29 转动一个工位，比较片存储筒219 内落下一个比较片，到达预设的位置，同时，切换的比较片随着工位转动落在比较片接受筒212 内，每切换一次，拨动一个工位。其中，传动轴24、大齿轮、小齿轮和轴承座组成的传动机构来完成拨盘转动。
　其特点是：(1)减小比较片机构直径的面积，提高装载镀制工件的数量；(2) 增加比较片的数量，提高生产效率，提高薄膜监控的精度，降低对硬件系统的要求，系统容易实现自动控制。缺点：该比较片结构直径小而长(Φ89×370)，影响其使用的强度和刚度；由于该结构暴露在高温溅射磨料的真空室内，影响其转动平稳性、灵活性，且转动位置重复的一致性较差，维护清洗频繁费工。
2、镀膜机比较片优化设计机构
　在真空镀膜机发展过程中，真空镀膜机比较片在光学镀膜机中担负着装载比较片的功能。比较片装载数量少，限制光学薄膜的镀制层数；比较片有效面积小，光路调整不方便，光信号的信噪比差，严重影响光学薄膜的质量。根据现在镀膜产品的要求，现有的真空镀膜机比较片机构，已不能满足现代光学30 层以上精密光学薄膜的镀膜要求。为解决现有技术上存在的缺陷，综合以上两种比较片结构优缺点和新产品镀膜的要求，创新、优化设计新一代的比较片机构，该装置要满足：结构简单；比较片装载方便；重复定位性好；可靠性高；制造成本低等特点。
　真空镀膜机多片式比较片装置，有比较片装载换位机构、转动密封馈入机构和换位驱动机构，如图3 所示。
　换位驱动机构固定在镀膜机箱体顶板4 上，由电机9、主动齿轮8、从动齿轮7、和定位盘6 组成，其中从动齿轮7 和定位盘6 固定在轴1 上，定位盘6 上有3 个均分的狭缝，槽型光藕17 在狭缝处接受光信号，控制电机的旋转和停止。
　转动密封馈入机构由威尔逊密封机构5 和轴承座2 组成，轴承座2 外侧套装有固定筒3，固定在镀膜机箱体顶板4 上。装载换位机构由拨动盘15、支承盘16、上盘14 和比较片存储筒13 组成。拨动盘15 连接的拨动轴11，通过联轴器10 和密封馈入机构的轴1连接。