真空镀膜设备 真空镀膜机的操作方法
滚筒式光学镀膜机
产品名称:滚筒式光学镀膜机
详细介绍:应用领域（行业）适合配置的镀膜机：手机视窗触摸屏
适合生产的产品作用：防污膜
特点和优势：专门为防污膜设计，生产效率高
规格系列：1750
精密镀膜机
产品名称:精密镀膜机
详细介绍:应用领域（行业）适合配置的镀膜机：精密光学
适合生产的产品作用：1、红外截止滤光片2、各类截止滤光片3、带通滤光片
特点和优势：产品光谱曲线稳定性好
规格系列：600、800、1100、1300、150
真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延。用户对于真空镀膜机的操作方法都了解吗?下面小编就来具体介绍一下真空镀膜机的操作方法，希望可以帮助到大家。
电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和
高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
DEF-6B操作
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3. 到50以下时，再关维持泵。