真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)，这些喷点、潮斑(花斑)极大的影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探讨。
一、喷点形成的原因
镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
1、镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
二、潮斑形成的原因:
1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。
2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。
三、 针对以上喷点、潮斑(花斑)的成因,在生产中采取了以下一些措施以消除喷点、潮斑(花斑):
1、选择可靠的材料供应商,并对购买的每批材料在投入使用前先做一测试,判定材料的可靠性。
2、规范材料的领用、保管,(干燥缸,干燥剂)保证材料不受潮,材料性质无变化。
3、规范镀膜操作,严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预熔一定要彻底,镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消除喷点。
4、规范清洗操作,加强清洗后的检查,提高清洗质量,消除因清洗而产生的潮斑(花斑)。
5、调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。
6、规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前,夹具需要先经过清洗、烘烤(300度,3小时以上)才能投入生产。
7、设计镀膜夹具时,尽量采用在真空室内放气量小的材料,同时可采取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮斑(花斑)。
